Книги автора: Валерий Павлович Михайлов

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» соде…

Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативну…

Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе эл…