Проектирование тонкопленочных интегральных схем с повышенной надежностью

В учебном пособии рассмотрены проблемы и пути повышения надежности и выхода годных плат тонкопленочных интегральных схем (ИС) с резистивными элементами. Предложены современные технологии тонкопленочных интегральных схем с резистивными элементами, в том числе интегральных схем сверхвысокочастотного диапазона (ИС СВЧ), с повышенной надежностью. Описаны принципы и разработанные на их основе новые методы проектирования тонкопленочных резисторов с использованием основных положений теории вероятностей, учитывающих производственные погрешности конструктивно-технологических параметров резисторов, которые возникают при их изготовлении. Рассмотрены системы автоматизированного проектирования резистивных элементов и автоматизированного статистического контроля качества, анализа и регулирования технологических процессов изготовления интегральных схем с резистивными элементами с учетом контактных сопротивлений для обеспечения высокой воспроизводимости электрических параметров в условиях серийного производства и надежности в процессе эксплуатации. Соответствует требованиям федеральных государственных образовательных стандартов высшего образования последнего поколения. Для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.03 и 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств».