Технология интегральных микросхем

Жанр: Учебники и пособия для вузов Физика Электроника Технологические процессы Наноэлектроника Микроэлектроника Техническая физика Микросхемы

Язык: Русский

Тип: Текст

Год издания: 2023

ISBN: 978-5-9729-1232-2

Полная версия

О книге
Читать

Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».