Книги автора: Валерий Сергеевич Петраков

Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».

Учебное пособие содержит описание методов определения символов граней и ребер кристаллических многогранников, символов атомных плоскостей и атомных рядов кристаллических структур, важнейших соотношений между ними. Учебное пособие содержит также набор домашних заданий, которые могут быть использованы не только для индивидуальных, но и групповых занятий.

Приводится систематическое изложение важнейших понятий и практических методов кристаллографии и кристаллохимии, начиная с классических методик определения символов атомных рядов и атомных плоскостей в кристаллах и завершая новейшими методиками описания эпитаксиальных кристаллических структур и атомных дефектов реальных кристаллов. В отличие от большинства изданий указанного направления, носящих сугубо теоретический характер, данное учебное пособие характеризуется практической направленностью и использованием различных форм активизации учебного процесса.