Поиск:
Войти
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Язык: Русский
Тип: Текст
Год издания: 2018
Бесплатный фрагмент: pdf
Полная версия
- О книге
- Отзывы 0
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Отзывы о книге «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2»
Другие книги автора:
Популярные книги