Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Жанр: Учебная и научная литература Учебники и пособия для вузов Технические науки Приборостроение Электроника Учебное пособие для студентов Нанотехнологии Конструирование оборудования Микроэлектроника Микромеханика Знания и навыки Микросистемная техника

Язык: Русский

Тип: Текст

Год издания: 2016

ISBN: 978-5-7038-3729-0

Полная версия

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники