Методы математического моделирования в микроэлектронике. Общие вопросы

В настоящее время математическое моделирование и вычислительный эксперимент являются «третьей» опорой познания окружающего мира и важнейшим инструментом прогрессивного развития различных технологий промышленной индустрии. В настоящем пособии рассматриваются общие вопросы математического моделирования, построения различных математических моделей в их приложении к микроэлектронике. Использование этих моделей на практике ориентировано на применение компьютеров и вычислительного эксперимента. Материал пособия предназначен для обучения бакалавров по направлениям 11.03.04 – Электроника и наноэлектроника, профиль: «Микроэлектроника и наноэлектроника» и 28.03.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, профиль «Полупроводниковые микро- и наносистемы». Кроме того, настоящая работа может быть полезна для будущих бакалавров и магистров других специальностей факультета РЭФ НГТУ, желающих углубить свои знания в области математического моделирования в микроэлектронике. Пособие подготовлено на кафедре Полупроводниковых приборов и микроэлектроники НГТУ.