Физические основы микро- и нанотехнологий

Жанр: Учебники и пособия для вузов Физика Машиностроение Электроника Учебное пособие для студентов Нанотехнологии Микроэлектроника

Язык: Русский

Тип: Текст

Год издания: 2016

ISBN: 978-5-7038-3319-3

Бесплатный фрагмент: pdf

Полная версия

О книге

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».