Поиск:
Войти
Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
Язык: Русский
Тип: Текст
Год издания: 2018
Полная версия
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
- О книге
Отзывы о книге «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом»
Другие книги автора:
Популярные книги
























