Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Жанр: Учебная и научная литература Техническая литература Учебники и пособия для вузов Технические науки Эксплуатация промышленного оборудования Книги для студентов и аспирантов Конструирование оборудования Физика плазмы Инженерно-техническая деятельность Магнетрон Знания и навыки

Язык: Русский

Тип: Текст

Год издания: 2016

ISBN: 978-5-7038-3798-6

Полная версия

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение