Поиск:
Войти
Книги автора: Е. А. Деулин
Сортировка
- сначала новые
- сначала новые
- по рейтингу
- по просмотрам
- по названию
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены мето…
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
1
Популярные книги